质谱探漏仪是利用质谱的方法,检查真空系统或器件微小漏孔的最灵敏的仪器, 是真空技术不可缺少的重要工具。工业部门和科学研究部门迫切需要这种仪器。20世纪60年代初, 清华大学无线电电子学系的教师们在进行研究工作时, 因缺少真空技术方面必要的仪器, 不得不将一些电子管的部件浸在水中, 或者涂上肥皂水, 像检查自行车车胎漏气那样来检查漏孔。对高真空电子管来说，如此原始的试验办法远远不能满足要求, 以致电子管内的真空度经常无法达标或难以持久, 使得研究工作时断时续。当时，查良镇教授（1937-2022）和参加试制工作的薛祖庆等3位应届毕业生, 利用一切能找到的资料进行详尽的调查研究。他们首先借了一台进口的质谱探漏仪, 对它进行深入了解,并向10多个单位详细地了解使用和仿制这种仪器的经验教训。与此同时, 他们千方百计地调查了国外相关文献资料，共计6种文字的一百多篇文献, 8个国家的二十多种产品的资料。
查良镇指导第一届毕业班学生与工厂合作，于1962年7月制成了第一台样机，主要性能指标都已达到或超过了当时的进口仪器。但他觉得仪器还有许多潜力可挖，和其他教师一起指导第二届毕业班学生，对性能样机展开了半年的试验研究。1963年11月，工厂按照改进方案制成了第二台样机，性能指标大大超过了第一台，灵敏度又提高了几百倍，达到了国际同类型仪器的先进水平，鉴定委员会认为可以初步定型。查良镇又指导第三届毕业班学生继续研究改进，与工厂合作试制第三台样机。
质谱探漏仪的灵敏度是仪器最重要的性能指标,无论是仪器的设计制造者、还是仪器的使用者, 都经常遇到灵敏度及校准的相关问题。使用者要比较和挑选各种探漏仪器, 在使用过程中监视灵敏度的稳定性，保证探漏结果的可靠性，有时还需要定量估计探漏的效果。由于质谱探漏仪的灵敏度极高, 影响它的因素很多, 使用成本也较高, 因此这方面的要求就更为严格。同时，设计和试制6104型质谱探漏仪和研究质谱探漏技术工作需要一个客观的检验标准，查良镇和薛祖庆等人着手解决这一问题。他们于1965年在《清华大学学报》上发表了《质谱探漏仪的灵敏度及其校准》一文，研究和评述了收集到的各种质谱探漏仪灵敏度的定义和校准方法, 并根据他们在这方面进行的实际工作，提出了一个较严格的定义以及校准方法。
